為了安全地使用本產(chǎn)品請務(wù)必在使用前閱讀。氣動元件的通用注意事項，請確認(rèn)卷頭第53頁，各系列的詳細注意事項請確認(rèn)本文的「 使用上的注意事項」。 572 1 響應(yīng)時間受到使用壓力和負(fù)荷容積的影響。對于響應(yīng)時間需要穩(wěn)定的再現(xiàn)性時，請在前段設(shè)置減壓閥。 2 為了避免噴嘴造成的誤動作,請采取如下對策。

● 請在AC電源線上設(shè)置在線過濾器。

● 對于誘導(dǎo)負(fù)荷(電磁閥、繼電器等)請使用CR、二極管等浪涌吸收器除去發(fā)生源的噪音。

● 請將比例元件的配線與強電場分開。

● 請將比例元件的配線使用頻蔽線連接。

● 請將頻蔽線下降到電源側(cè)的地線。但是，串行傳輸型的通信電注意 設(shè)計 · 選定時纜的頻蔽線,請根據(jù)各通信系統(tǒng)規(guī)格進行處理。如吹氣一樣將二次側(cè)的控制壓力向大氣開放使用時, 因配管條件、吹氣條件有可能引起壓力變動。麻煩您根據(jù)實際的使用條件進行測試，或者與本公司聯(lián)系。 4 選定干燥機、空氣過濾器、精密過濾器、減壓閥時，請選定比例元件所使用流量以上的元件。 1 請避免在陽光直射、水、油飛揚的場所使用。 2 請將比例元件所使用的空氣配管充分氣洗后再進行連接。配管時請不要將密封帶一起擰入。 3 連接配管時密封帶的纏繞方法:請將密封帶在配管的螺紋前端2mm以上的內(nèi)側(cè)位置開始與螺紋反方向纏繞。

● 如密封帶超出配管螺紋的前端，在擰入時密封帶會被切斷,變?yōu)樗槠M入氣壓元件內(nèi)部,導(dǎo)致故障。注意 安裝 · 裝配 · 調(diào)試時 4 將排氣口用螺塞堵住則不能進行正常的壓力控制,請務(wù)必向大氣開放。 5 連接配管時請進行適當(dāng)?shù)木o固力距

。 ● 目的是防止空氣泄漏，螺紋破損。

● 請先用手將螺紋擰入,然后再用工具緊固,以免損傷螺牙。 1 請不要拆卸以免導(dǎo)致故障。拆卸后的不能保證正常動作,請諒解。注意 使用 · 維護時 3 固體液體密封劑固體液體密封劑 1 ～ 1.5 6 ～ 8 13 ～15 〔推薦緊固力距〕連接螺紋 M5 Rc1/4 Rc3/8 緊固力距 N?m 電空減壓閥　通用注意事項 F ?R ?L 單元冷凍式干燥機干燥劑式干燥機高分子膜式干燥機空氣過濾器其它排水器 F.R.L （組件） F.R.L （分類）小型F?R 精密R 凈化 F?R 電空R F.R.L （相關(guān)元件）速度控制器消聲器止回閥?其它單向閥管接頭?氣管真空F 真空R 真空發(fā)生器真空輔助設(shè)施?襯墊吸盤機械式壓力開關(guān)電子式壓力開關(guān)電子差壓開關(guān)著座?密合確認(rèn)開關(guān)空壓傳感器緊固用壓力開關(guān)小型流量傳感器流量傳感器全空壓系統(tǒng)（全空壓系統(tǒng)）全空壓系統(tǒng)（γ）循環(huán)式水冷卻裝置水用流量傳感器 575 1 電源沒有接通的狀態(tài)，長時間附加一次側(cè)壓力,二次側(cè)壓力有可能會上升到一次側(cè)壓力的值。如果在安警告 設(shè)計 · 選定時各機種系列 · 個別注意事項 EV2000系列、EV0000系列、EVS000系列全上有問題時,請在一次側(cè)或二次側(cè)使用閥門,以確保系統(tǒng)上的安全。 1 質(zhì)量不好的空氣會影響元件特性及耐久性。

● 請再空氣壓源安裝干燥機、空氣過濾器、精密過濾器，充分除去固體、水分、油分，使用潔凈的空氣。另外,請不要使用加油空氣,會影響元件的特性。

● 根據(jù)輸入信號降低二次側(cè)壓力時,二次側(cè)的空氣通過ER內(nèi)部從排氣口被排放出去。如二次側(cè)配管、負(fù)荷側(cè)內(nèi)部有污染同樣會影響元件特性等,對元件造成壞影響，請務(wù)必使配管內(nèi)部保持清潔。 2 在加壓的狀態(tài)下切斷電源,二次側(cè)的壓力仍被保持。

● 如果要為排氣狀態(tài),請根據(jù)輸入信號降低輸出壓力后再切斷電源,或者通過殘壓排出閥等排出。另外,這種保持狀態(tài)不能保證長時間保持。 3 請確保一次側(cè)壓力不低于「設(shè)定二次側(cè)壓力+高控制壓力×0.1」。

● 特別時二次側(cè)壓力設(shè)定在0MPa到12％F.S.范圍內(nèi)時,如果一次側(cè)壓力得不到長時間供給,則會縮短產(chǎn)品的壽命。請不要使用這樣的方法。 4 EV2000系列即使為0MPa設(shè)定,在5kPa以下的范圍內(nèi)二次側(cè)壓力不能被排放而有殘留。如果一定需要注意 設(shè)計 · 選定時 1 選擇項的密封電纜接插件為4芯頻蔽線。 ● 在EV2000系列、EV0000系列中如果沒有使用綠色的特殊用途的線(監(jiān)視器輸出等)，請確保不要與其他的線(包括頻蔽線) 接觸,做好絕緣處理。如果誤與地線相接,會導(dǎo)致誤動作和產(chǎn)品的破損。

● EVS000系列中,本體側(cè)的頻蔽線是與選擇項的密封電纜接插件的綠色線相連的,請將綠色線與頻蔽線連接到電源的地線上。空氣過濾器 減壓閥 5μm 空氣干燥機 精密過濾器（除去油分）<推薦空氣回路>（壓力開關(guān)） 0MPa可以采取使二次側(cè)泄氣或者在二次側(cè)安裝三方閥以與大氣切換等措施。 5 EV0000系列與EVS000系列,二次側(cè)配管有泄漏,有可能會引起振動。

● 配管時,請確保沒有泄漏,進行切實的配管。另外,吹氣,或者在二次側(cè)施加反向壓力時的使用條件時,不能維持設(shè)定壓力會產(chǎn)生大的壓力的同時,還會縮短壽命,請避免這樣的使用。 6 電流輸入型在配線、電源的接地和信號的公共極為共用。

● 多個EV由1臺PLC或者D/A配套元件驅(qū)動時，有可能會因 配套元件的回路方式,產(chǎn)生配線上的問題,而不能進行正常的信號輸入,使用時請與PLC制造商商談。 EV2509系列,供給氣口在本體的左右二側(cè)設(shè)有N1、 IN2的2個系統(tǒng)。如有不需要使用的供給氣口，請務(wù)必堵上。 8 電流輸入型輸入信號為1-5V也可使用,但是與其他電壓輸入型不同,因輸入電阻很小為250Ω,請使用與之相對應(yīng)的信號發(fā)生裝置。 9 “EV0000系列、EVS000”系列中使用微速氣缸等，泄漏量大的氣缸時,不能維持設(shè)定壓力,會產(chǎn)生大的聲音及縮短元件壽命,請避免這樣的使用方法。注意 使用 · 維護時氣動元件(電空減壓閥) 為了安全地使用本產(chǎn)品請務(wù)必在使用前閱讀。氣動元件的通用注意事項，請確認(rèn)卷頭第53頁，各系列的詳細注意事項請確認(rèn)本文的「 使用上的注意事項」。 576 1 質(zhì)量不好的空氣向一次側(cè)(大氣側(cè))供給會影響元件特性及耐久性。

● 在有粉塵的環(huán)境中使用時,請安裝過濾器除去。

● 二次側(cè)配管也同樣如果配管內(nèi)、負(fù)荷側(cè)內(nèi)部有污染會影響元件的特性及耐久性，空氣配管請在操作前,進行吹氣,除去異物后再連接。

● 請根據(jù)需要按下圖推薦的空氣回路設(shè)置過濾器。 2 使用壓力側(cè)在真空的狀態(tài)下切斷電源,則可保持二次側(cè)壓力。

● 二次側(cè)向大氣開放時,請將輸入信號降下后在切斷電源,或者通過殘壓排出閥排出。另外,該保持狀態(tài)不能保證長時間保持。 3 使用壓力為對于控制壓力供給規(guī)定壓力。請確保在使用壓力的范圍內(nèi)。<推薦空氣回路>真空用空氣過濾器 真空用空氣過濾器（大氣壓）工件真空用空氣過濾器 真空用空氣過濾器 1 在電源沒有接通的狀態(tài)，長時間外加使用壓力(真空側(cè)壓力),二次側(cè)壓力的真空度有可能上升到使用壓力警告 設(shè)計 · 選定時各機種系列 · 個別注意事項真空控制用EV210□V系列值。為了確保系統(tǒng)安全，請采取在二次側(cè)使用閥門等措施。注意 設(shè)計 · 選定時

● 特別是二次側(cè)壓力在0kPa到12％F.S.的范圍內(nèi)的設(shè)定狀態(tài),如果使用壓力長時間得不到供給,或者使用壓力長時間在「控制壓力+（－10kPa）」以下狀態(tài),產(chǎn)品的壽命會縮短,請不要使用這樣的方法。 4 即使為0kPa設(shè)定,在0～－5kPa范圍內(nèi),二次側(cè)壓力不能*排放而殘留。

● 如果必需要0kPa時,請在二次側(cè)安裝3方閥采取與大氣切換等措施。 5 電流輸入型在配線、電源的接地和信號的公共極為共用。

● 多個EV由1臺PLC或者D/A配套元件驅(qū)動時，有可能會因 配套元件的回路方式,產(chǎn)生配線上的問題,而不能進行正常的信號輸入,使用時請與PLC制造商商談。 6 電流輸入型輸入信號為1-5V也可使用,但是與其他電壓輸入型不同,因輸入電阻很小為250Ω,請使用與之相對應(yīng)的信號發(fā)生裝置。 1 如IN氣口用螺塞堵住，則不能進行正常的壓力控制, 請務(wù)必向大氣開放。 2 在配管氣口（VAC、OUT、IN）安裝接頭時,為了確保沒有泄漏,請使用密封材料(密封帶、膠狀密封劑)，請注意不要使密封材料或配管螺紋的切粉進入內(nèi)部。另外,擰入VAC擰入 氣口的接頭時,請用扳手夾住吸氣模塊（□27）操作。 3 集成型多臺與模塊連接時,大氣開放氣口（IN1、 IN2）為通用。 4 選擇項的密封電纜接插件為4芯頻蔽線。

● 如果沒有使用綠色的特殊用途的線(監(jiān)視器輸出等)，請確保不要與其他的線(包括頻蔽線)接觸,做好絕緣處理。如果誤與地線相接,會導(dǎo)致誤動作和產(chǎn)品的破損。 1 使用油回轉(zhuǎn)式真空泵時，為了防止油回轉(zhuǎn)進入,請關(guān)注意 使用 · 維護時閉真空泵的電源后,再使用殘壓閥等將真空破壞。